ابزارهای تعمیر نوک پروب در درجه اول بر اساس نوع پروب و درجه غیرفعال شدن دسته بندی می شوند. آنها شامل ابزار تمیز کردن فیزیکی، تجهیزات تمیز کردن شیمیایی، دستگاه های تعمیر الکتروشیمیایی و ابزار تشخیصی تخصصی هستند. این ابزارها برای بازیابی عملکرد پروبهای غیرفعال شده خفیف یا تعیین اینکه آیا پروب نیاز به تعویض دارد یا خیر، استفاده میشود.
I. ابزارهای تمیزکننده فیزیکی: مناسب برای آلودگی سطحی یا اکسیداسیون خفیف
1. ابزارهای ساینده فوق العاده{1}
کاغذ سنباده فوق{{0} ریز (گریت 2000 یا بالاتر): برای صیقل دادن لایه اکسید سطحی روی پروب های فلزی (مانند پین های پوگو یا سیم های تست مولتی متر) برای بازیابی رسانایی استفاده می شود.
لینت-پارچه رایگان + الکل ایزوپروپیل (IPA): برای پاک کردن لکههای روی نوک پروب استفاده میشود. ساده برای استفاده و مناسب برای درمان سریع در محل-.
پولیشکننده میکرو{0}کنترلشده: پولیش کنترلشده پروبها را در زیر میکروسکوپ فعال میکند و از سایش بیش از حد جلوگیری میکند.
سناریوهای قابل اجرا: تعمیر و نگهداری روتین پروب های تست صنعتی و سوزن های تعمیر مدار.
2. جریان هوا و ابزار مسواک زدن
تفنگ دمنده نیتروژن: گرد و غبار چسبیده به نوک پروب را از بین می برد و از آلودگی ثانویه جلوگیری می کند.
پاک کننده اولتراسونیک: همراه با محلول تمیز کننده برای حذف موثر ذرات و باقی مانده های آلی استفاده می شود.
II. تجهیزات تعمیرات شیمیایی و الکتروشیمیایی: حذف هدفمند لایه های اکسید
1. محلول های پاک کننده شیمیایی
محلول رقیق اسید هیدروکلریک یا اسید سیتریک: برای خیساندن پروب های فلزی (مانند تنگستن، مس بریلیم) برای حل کردن اکسیدهای سطحی استفاده می شود.
سیال تمیز کننده پروب الکترونیکی تخصصی: محصولات تجاری موجود (مثلاً DeoxIT D5) که می توانند با خیال راحت لایه های اکسید را بدون آسیب رساندن به مواد زیرلایه حذف کنند.
توجه: برای پروب های AFM مبتنی بر سیلیکون مناسب نیست، زیرا ممکن است ساختار کنسول را خورده کند.
2. دستگاه های تعمیر الکتروشیمیایی
کنترلشده-سیستم الکترولیز فعلی: لایههای اکسیدی را با تنظیم ولتاژ و غلظت الکترولیت بدون تغییر شکل هندسی پروب حذف میکند.
میکرو{0}}سلول الکترولیتی: به طور خاص برای پروبهای قطری ظریف- طراحی شده تا تمیز کردن موضعی را فعال کند.
مزایا: دقت تمیز کردن بالا و حداقل آسیب. مناسب برای نگهداری پروب های-با ارزش بالا.
III. تکنیکهای پردازش تخصصی پروبهای نانومقیاس (نه برای مصارف خانگی)
1. پاک کننده پلاسما
از پلاسمای اکسیژن برای تجزیه آلاینده های آلی استفاده می کند. به طور گسترده برای تمیز کردن آزمایشگاهی-کاوشگرهای AFM و نیمه هادی استفاده می شود.
به طور موثر واکنش پذیری نوک را افزایش می دهد و رسانایی سطح را بازیابی می کند.
2. تیز کردن پرتو یون متمرکز (FIB).
برای ایجاد مجدد نمایهای واضح، نکات را در مقیاس اتمی «مجسمه میکند».
یک تکنیک تحقیقاتی{0}بالا با هزینه قابل توجه و محدود به استفاده در سناریوهای تخصصی.
محدودیت های عملی: تجهیزات FIB گران و پیچیده است. به عنوان راه حل تعمیر فاقد ارزش جهانی است و معمولاً نسبت به جایگزینی ساده پروب با یک پروب جدید، مقرون به صرفه و قابل اعتمادتر است.
IV. ارسال{1}}ابزارهای تأیید تعمیر: اطمینان از رعایت استانداردهای عملکرد
1. میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)
مستقیماً مورفولوژی نوک را مشاهده میکند تا مشخص کند آیا شعاع انحنای بازیابی شده است یا خیر.
به عنوان معتبرترین روش در آزمایشگاه برای ارزیابی کندی نوک.
2. تداخل سنج نور سفید / خود کالیبراسیون AFM{1}
به طور غیرمستقیم وضعیت کاوشگر را از طریق بازسازی سطح سه بعدی یا تصویربرداری از نمونه های استاندارد ارزیابی می کند.
مناسب برای تایید معمول در محیط هایی که SEM در دسترس نیست.
3. روش تست نمونه استاندارد
از نمونه هایی با ساختارهای شناخته شده (به عنوان مثال، استانداردهای HOPG، توری پراش) برای اسکن مقایسه ای استفاده می کند.
اگر تصاویر بهدستآمده واضح و بدون آثار بزرگ شونده باشند، نشاندهنده عملکرد عادی کاوشگر است.

